鈴木 博 | 日本電気ULSIデバイス開発研究所

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概要

• 同名の論文著者
• 日本電気ULSIデバイス開発研究所の論文著者

関連著者

• 神山 聡

  日本電気ULSIデバイス開発研究所

• 鈴木 博

  日本電気ULSIデバイス開発研究所

• 渡辺 啓仁

  日本電気ULSIデバイス開発研究所

• 鈴木 博

  日本電気

• 渡辺 啓仁

  Nec 半導体生産技術本部 プロセス技術部

• 神山 聡

  (株)半導体先端テクノロジーズ(selete)

• 高石 芳宏

  日本電気ulsiデバイス開発研究所

• 坂尾 眞人

  日本電気ULSIデバイス開発研究所

• 小野 春彦

  日本電気(株)基礎研究所

• 渡辺 啓仁

  日本電気(株)システムデバイス研究所

• 小野 春彦

  NEC マイクロエレクトロニクス研究所 LSI基礎研究部

• 神山 聡

  日本電気(株)システムデバイス基礎研究本部

• 小野 春彦

  日本電気(株)マイクロエレクトロニクス研究所

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著作論文

• Ta_2O_5キャパシタを搭載したDRAM用の低温プロセス
• 1GビットDRAM用極薄Ta_2O_5膜形成技術

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