神山 聡 | 日本電気(株)システムデバイス基礎研究本部

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• 神山 聡

  日本電気(株)システムデバイス基礎研究本部

• 神山 聡

  日本電気ULSIデバイス開発研究所

• 鈴木 博

  日本電気ULSIデバイス開発研究所

• 渡辺 啓仁

  日本電気ULSIデバイス開発研究所

• 鈴木 博

  日本電気

• 小野 春彦

  日本電気(株)基礎研究所

• 渡辺 啓仁

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• 渡辺 啓仁

  Nec 半導体生産技術本部 プロセス技術部

• 神山 聡

  (株)半導体先端テクノロジーズ(selete)

• 小野 春彦

  NEC マイクロエレクトロニクス研究所 LSI基礎研究部

• 小野 春彦

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著作論文

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• DRAM用Ta_2O_5キャパシター形成技術

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