竹内 良亘 | Ntt Lsi研究所

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概要

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• Ntt Lsi研究所の論文著者

関連著者

• 竹内 良亘

  Ntt Lsi研究所

• 安藤 真

  東京工業大学 電気電子工学専攻

• 安藤 真

  東京工業大学

• 原田 勝征

  NTT LSI研究所

著作論文

• 物理光学法から見たマスク投影系における散乱問題
• 幾何光学的回折理論(GTD)を用いたマスク補助パタン設計法の提案
• ベクトル光学像の光線追跡による生成

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