富永 喜久雄 | 徳島大学工学部電気電子工学科

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• 富永 喜久雄

  徳島大学工学部電気電子工学科

• 富永 喜久雄

  徳島大工

• 英 崇夫

  徳島大学工学部創成学習開発センター

• 英 崇夫

  徳島大学工学部

• 日下 一也

  徳島大学大学院ソシオテクノサイエンス研究部

• 藤原 晴夫

  徳島大学工学部

• 藤原 晴夫

  徳島文理大学工学部

• 藤原 晴夫

  徳島大学工業短期大学部

• 新谷 義廣

  徳島大学工学部電気電子工学科

• 新谷 義廣

  徳島大学工学部

• 日下 一也

  徳島大学工学部

• 阿尾 高広

  徳島大工院

• 阿尾 高広

  徳島大学大学院

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著作論文

• 酸化亜鉛のスッパタリングにおける高速粒子のエネルギー評価とその成長膜への影響
• スパッタリング生成によるAIN膜の残留応力の基板および基板温度依存性
• c軸配向した窒化アルミニウム膜のX線的残留応力解析
• 交替式スパッタリング法によるAlN膜の残留応力測定
• プレーナマグネトロンスパッタリング生成によるAlN膜の結晶配向性と残留応力のプラズマ汚染の影響(X線材料強度小特性)

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