天沢 敬生 | Ntt Lsi研究所

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概要

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• Ntt Lsi研究所の論文著者

関連著者

• 天沢 敬生

  Ntt Lsi研究所

• 有田 睦信

  NTT LSI 研究所

• 山本 栄一

  NTT LSI研究所

• Sato K

  Depertment Of Electrical And Electronic Engineering Tokyo Institute Of Technology

• Saito K

  Department Of Materials Technology Chiba University

• ARITA Yoshinobu

  NTT LSI Laboratories

• Sato K

  Department Of Electronics And Information Science Teikyo University Of Science And Technology

• SAITO Kunio

  NTT LSI Laboratories

• AMAZAWA Takao

  NTT LSI Laboratories

• Saito K

  Nagaoka National Coll. Technol. Nagaoka Jpn

• Saito K

  Application Laboratory

• Saito K

  Av-it Development Group. Sony Corporation

• Arita Y

  Ntt System Electronics Lab. Kanagawa Jpn

• 斎藤 国夫

  NTT LSI Laboratories

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著作論文

• プラズマ化学気相成長による選択チタンシリサイド膜堆積とシリサイド張り付けシリコン電極形成プロセス〔英文〕
• 0.25μmULSI多層配線のための選択CVD-Alビアプラグ平坦化技術
• Al選択成長 (サブミクロン時代の平坦化技術(技術ノ-ト))

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