Atoda N | Sortec

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概要

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• Sortecの論文著者

Sortec | 論文

• Electroplated Reflection Masks for Soft X-Ray Projection Lithography
• Resist Performance in 5 nm Soft X-Ray Projection Lithography
• Reduction Imaging at 4.5 nm with Schwarzschild Optics
• Fabrication of 0.1μm Line-and-Space Patterns using Soft X-Ray Reduction Lithography
• Sub-0.1 μm Resist Patterning in Soft X-Ray (13 nm) Projection Lithography

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