菅原 活郎 | 日立武蔵

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概要

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• 日立武蔵の論文著者

関連著者

• 菅原 活郎

  日立武蔵

• 杉田 吉充

  日立中研

• 田村 誠男

  日立中研

• 野村 正敬

  日立中研

• 増村 庸之

  日立中研

• 杉田 吉充

  日立武蔵

• 古賀 康史

  日立中研

• 杤久 保浩夫

  日立武蔵

著作論文

• 8p-N-7 Si HomoepitaxyのMisfit Dislocation (III)
• Si HomoepitasyのMisfit Dislocation II : X線, 粒子線
• Si HomoepitasyのMisfit Dislocation I : X線, 粒子線
• シリコン結晶中の欠陥 : 格子欠陥
• 9a-M-11 シリコン中の欠陥構造
• Rotating Disk法によるSi Epitaxial成長 : 結晶成長
• 超LSI薄膜技術と化学工学 (薄膜・超微粒子材料への期待)

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