Rotating Disk法によるSi Epitaxial成長 : 結晶成長

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1969-03-30

著者

• 菅原 活郎

  日立武蔵

• 古賀 康史

  日立中研

• 杤久 保浩夫

  日立武蔵

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