SHINOHARA Kibatsu | Nihon Koshuha Co., Ltd.

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概要

• 同名の論文著者
• Nihon Koshuha Co., Ltd.の論文著者

関連著者

• 深沢 塔一

  金沢工業大学機械系

• SAMUKAWA Seiji

  LSI Basic Research Laboratory, Microelectronics Research Laboratories, NEC Corporation

• NAKAGAWA Yukito

  Anelva Corporation

• TSUKADA Tsutomu

  Anelva Corporation

• UEYAMA Hiroyuki

  Nihon Koshuha Co., Ltd.

• SHINOHARA Kibatsu

  Nihon Koshuha Co., Ltd.

• Samukawa Seiji

  Lsi Basic Research Laboratory Microelectronics Research Laboratories Nec Corporation

• Tsukada Tsutomu

  Anelva Corp.

• Ueyama Hiroyuki

  Nihon Koshuha Co. Ltd.

• Shinohara Kibatsu

  Nihon Koshuha Co. Ltd.

著作論文

• New Ultra-High-Frequency Plasma Source for Large-Scale Etching Processes

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