後藤 みき | 電気電子情報工学科
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概要
関連著者
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後藤 みき
電気電子情報工学科
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電気電子情報工学科
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大谷 清
東芝ライテック?
著作論文
- MgO電極を用いたCVDダイヤモンドの反応性イオンエッチング
- 液晶バックライト用電極としてのダイヤモンド膜の検討
- O_2/CF_4プラズマによるダイヤモンドエッチングとプラズマパラメータ
- CF_4プラズマにおけるCF_2ラジカルに及ぼす壁温度加熱の影響
- O_2/CF_4プラズマ中のCVDダイヤモンド薄膜の反応性イオンエッチンング
- ホローカソード直流CF_4プラズマ中のCF_3, CF_2ラジカル密度計測
- ホローカソードCF_4プラズマ中のCF_3CF_2ラジカル測定
- P8. 液晶バックライト用低圧Ar-Hg放電中におけるプラズマ諸量のAr圧力依存性
- 11. 液晶バックライト用水銀ランプ中のプラズマパラメータと粒子密度
- 半導体プロセス用CF4/H2プラズマ中のCFラジカルの挙動