愛敬 仁 | 神奈川工科大学大学院工学研究科
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概要
関連著者
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荒井 俊彦
神奈川工科大学工学部
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荒井 俊彦
電気電子情報工学科
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荒井 俊彦
神奈川工科大
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後藤 みき
電気電子情報工学科
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後藤 みき
神奈川工科大学
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愛敬 仁
神奈川工科大学大学院工学研究科
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後藤 みき
神奈川工科大
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藤岡 寛之
神奈川工科大学電気電子工学科
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真篠 聡一
神奈川工科大学電気電子工学科
著作論文
- CF_4プラズマにおけるCF_2ラジカルに及ぼす壁温度加熱の影響
- ホローカソード直流CF_4プラズマ中のCF_3, CF_2ラジカル密度計測
- ホローカソードCF_4プラズマ中のCF_3CF_2ラジカル測定