寺西 信一 | 日本電気株式会社シリコンシステム研究所

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概要

• 同名の論文著者
• 日本電気株式会社シリコンシステム研究所の論文著者

日本電気株式会社シリコンシステム研究所 | 論文

• マルチウィンドウ型アンテナを用いた極超短波プラズマ源
• レーザ誘起蛍光法によるパルスN_2誘導結合プラズマの診断
• 5. UHFプラズマ (プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断V)
• 3. タイムモジュレーションプラズマによる高精度エッチング (ドライエッチング用プラズマ)
• UHFプラズマ源の特性評価およびドライエッチングへの応用

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