三宅 威生 | 東大院(現)日立

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概要

• 同名の論文著者
• 東大院(現)日立の論文著者

関連著者

• 三宅 威生

  日立AS

• 三宅 威生

  東大院(現)日立

• 泉 聡志

  東京大学大学院工学系研究科

• 酒井 信介

  東大工

• 泉 聡志

  東大工

• 太田 裕之

  (株)日立製作所

• 太田 裕之

  日立機械研

• 酒井 信介

  東大

• 泉 聡志

  東大

• 太田 裕之

  日立機械研究所

著作論文

• STI構造に対する三次元転位動力学シミュレーションの適用(技術OS3-1 半導体デバイス,技術OS3 電子・情報機器と材料力学)
• 738 窒化膜真性応力起因の転位発生に対する二次元・三次元転位動力学シミュレーション
• 827 薄膜の真性応力に起因するシリコン基板中の転位の動力学的解析

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