三宅 威生 | 日立AS

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概要

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関連著者

• 三宅 威生

  日立AS

• 泉 聡志

  東京大学大学院工学系研究科

• 太田 裕之

  (株)日立製作所

• 酒井 信介

  東大工

• 泉 聡志

  東大工

• 太田 裕之

  日立機械研究所

• 三宅 威生

  東大院(現)日立

• 太田 裕之

  日立機械研

• 酒井 信介

  東京大学大学院工学系研究科

• 酒井 信介

  東大

• 泉 聡志

  東大

• 三宅 威生

  (株)日立製作所オートモーティブシステムグループ

• 泉 聡志

  東京大学大学院 工学系研究科

• 酒井 信介

  東京大学大学院 工学系研究科

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著作論文

• 転位動力学シミュレーションのSTI半導体構造への応用
• SiN薄膜真性応力起因のシリコンの転位運動に対する実験と転位動力学シミュレーション(S05-5 ナノ・マイクロ構造体の信頼性,S05 薄膜の強度物性と信頼性)
• STI構造に対する三次元転位動力学シミュレーションの適用(技術OS3-1 半導体デバイス,技術OS3 電子・情報機器と材料力学)
• 738 窒化膜真性応力起因の転位発生に対する二次元・三次元転位動力学シミュレーション
• 827 薄膜の真性応力に起因するシリコン基板中の転位の動力学的解析

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