村岡 裕紀 | 広島工業大学工学部電子・光システム工学科
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概要
関連著者
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川畑 敬志
広島工業大学
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村岡 裕紀
広島工業大学工学部電子・光システム工学科
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熊渕 善太
広島工業大学工学部電子・光システム工学科
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河合 克浩
島根大学総合理工学部電子制御システム工学科
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岡山 勇太
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小埜 芳和
広島工業大学工学部電子・光システム工学科
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小林 佑司
広島工業大学工学部電子・光システム工学科
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本多 茂男
島根大学総合理工学部
著作論文
- 誘導結合プラズマ支援型多重磁極マグネトロンスパッタ法により作製したCu薄膜に及ぼす陽極電圧と基板バイアス電圧の効果
- 誘導結合プラズマ支援型アンバランスマグネトロンスパッタ法によるCu薄膜の作製
- 多重磁極マグネトロンスパッタ法により作製したCo及びCu薄膜の電磁波シールド効果
- 高周波多重磁極スパッタ法によるニッケルターゲット上の磁場分布と薄膜の作製