和田 一実 | 信越半導体

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概要

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関連著者

• 阿部 孝夫

  信越半導体(株)半導体研究所

• 和田 一実

  信越半導体

• 阿部 孝夫

  信越半導体

• 和田 一実

  マサチューセッツ工科大

• 松本 智

  慶應義塾大学理工学研究科

• 松本 智

  慶應義塾大学

• 室田 淳一

  東北大学 電気通信研究所

• ヒルマン イルワン

  慶應義塾大学

• オスマン ヒルマン

  慶應義塾大学

• 和田 一実

  MIT

• 中林 幸雄

  慶應義塾大学

• 豊永 一成

  慶應義塾大学

• 横田 香織

  慶應義塾大学

• 中林 幸雄

  (株)東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー

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著作論文

• 高純度単一同位体Siのエピタキシャル成長と自己拡散への応用
• 29pYE-3 CZ シリコン結晶成長における成長速度の限界と界面形状
• 29pYE-3 CZ シリコン結晶成長における成長速度の限界と界面形状

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