安東 靖典 | 日新イオン機器
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概要
関連著者
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安東 靖典
日新イオン機器
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安東 靖典
日新イオン機器株式会社
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鮫島 俊之
東京農工大工
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安藤 伸行
東京農工大学
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安藤 伸行
東京農工大・工学教育部21世紀coeプログラム
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鮫島 俊之
東京農工大学 工学部
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渡邊 和弘
日本原子力研究所那珂研究所
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渡邊 和弘
日本原子力研究開発機構
著作論文
- イオンドーピングした不純物の活性化(シリコン関連材料の作製と評価)
- 多結晶シリコンヘイオンドーピングされたドーパントの低温活性化(半導体Si及び関連材料・評価)
- 6. NBI技術の波及効果(NBI : 核融合炉に向けた物理・工学の進展)