土屋 憲彦 | (株)東芝

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概要

• 同名の論文著者
• (株)東芝の論文著者

関連著者

• 土屋 憲彦

  (株)東芝

• 泉 聡志

  東京大学大学院工学系研究科

• 酒井 信介

  東大工

• 泉 聡志

  東大工

• 富田 充裕

  (株)東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー

• 松永 秀樹

  (株)東芝総合研究所

• 竹中 みゆき

  (株)東芝環境技術研究所

• 木村 成竹

  東京大学大学院工学系研究科

• 富田 充裕

  株式会社東芝研究開発センター

• 小林 尚司

  東大院:(現)新日鉄ソリューソンズ

• 木村 成竹

  東大院

• 土屋 憲彦

  (株)東芝半導体材料事業部

• 松永 秀樹

  (株)東芝研究開発センター環境技術研究所材料応用技術センター

• 木村 成竹

  東京大学大学院工学糸研究科

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著作論文

• 259 イオンインプランテーション起因のシリコン転位の発生・進展過程の転位動力学解析(欠陥,OSO7 電子・原子・マルチシミュレーションに基づく材料特性評価)
• 加熱気化/誘導結合プラズマ質量分析法によるシリコンウェハー中の超微量クロム, 鉄, ニッケル及び銅の深さ方向分布の測定

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