多田 泰三 | 大阪大学大学院基礎工学研究科電子光科学領域

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概要

• 同名の論文著者
• 大阪大学大学院基礎工学研究科電子光科学領域の論文著者

関連著者

• 金島 岳

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 奥山 雅則

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 多田 泰三

  大阪大学大学院基礎工学研究科電子光科学領域

• 多田 泰三

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 金島 岳

  大阪大学

• 奥山 雅則

  大阪大学大学院 基礎工学研究科 ナノサイエンスデザイン教育研究センター

• 金島 岳

  大阪大学大学院基礎工学研究科物理系専攻

• 寒川 雅之

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 津森 正樹

  大阪大学大学院基礎工学研究科電子光科学領域

• 池田 幸司

  大阪大学大学院基礎工学研究科

著作論文

• Hf(O-t-C_4H_9)_4を用いた光アシストMOCVDによるHfO_2薄膜の作製と評価(ゲート絶縁膜, 容量膜, 機能膜及びメモリ技術)
• ESRによるHfO_2薄膜の欠陥評価(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

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