池田 幸司 | 大阪大学大学院基礎工学研究科

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概要

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• 大阪大学大学院基礎工学研究科の論文著者

関連著者

• 寒川 雅之

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 金島 岳

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 奥山 雅則

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 池田 幸司

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 金島 岳

  大阪大学

• 奥山 雅則

  大阪大学大学院 基礎工学研究科 ナノサイエンスデザイン教育研究センター

• 金島 岳

  大阪大学大学院基礎工学研究科物理系専攻

• 多田 泰三

  大阪大学大学院基礎工学研究科電子光科学領域

• 吉田 真人

  大阪大学基礎工学研究科電子光科学領域

• 吉田 真人

  大阪大学大学院基礎工学研究科システム創成専攻電子光科学領域

• 神田 浩文

  大阪大学大学院基礎工学研究科物理系専攻機能材料デバイス講座

• 多田 泰三

  大阪大学大学院基礎工学研究科

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著作論文

• ESRによるHfO_2薄膜の欠陥評価(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
• PLDにより製膜したHf酸化物の界面評価(半導体Si及び関連材料・評価)
• High-k PrOχゲート絶縁膜の電気的・光学的特性

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