有村 英俊 | 甲南大学大学院自然科学研究科
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概要
関連著者
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有村 英俊
甲南大学大学院自然科学研究科
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赤松 謙祐
甲南大学 フロンティアサイエンス学部
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甲南大学 フロンティアサイエンス学部
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甲南大学大学院自然科学研究科
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甲南大学 理工学部
著作論文
- 光化学還元法によるガラス基板上への銅のダイレクトパターニング
- バリアメタル上へのエチレンジアミン錯体浴による直接銅電析
- ベンゾトリアゾール誘導体のマイクロコンタクトプリンティングを利用するULSI銅微細配線の形成
- ポリエチレングリコール誘導体の予備吸着を利用する銅電析プロセスによるULSI微細配線の形成
- システムオンパネルを目的とした光化学還元法による銅のダイレクトパターニング (MEMS 2006 第16回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集)
- 比抵抗の大きな基材への直接銅電析と析出皮膜の物性 (小特集 プリント配線板と表面処理(2))
- 比抵抗の大きな基材への直接銅電析と析出皮膜の物性