システムオンパネルを目的とした光化学還元法による銅のダイレクトパターニング (MEMS 2006 第16回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- エレクトロニクス実装学会の論文
- 2006-10-26
著者
関連論文
- 光化学還元法によるガラス基板上への銅のダイレクトパターニング
- バリアメタル上へのエチレンジアミン錯体浴による直接銅電析
- ベンゾトリアゾール誘導体のマイクロコンタクトプリンティングを利用するULSI銅微細配線の形成
- ポリエチレングリコール誘導体の予備吸着を利用する銅電析プロセスによるULSI微細配線の形成
- システムオンパネルを目的とした光化学還元法による銅のダイレクトパターニング (MEMS 2006 第16回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集)
- 選択的光化学析出法によるガラス基板上への微細銅回路の形成
- TiO2光触媒反応を用いる新規無電解銅めっきシステムの析出機構
- 比抵抗の大きな基材への直接銅電析と析出皮膜の物性 (小特集 プリント配線板と表面処理(2))
- 比抵抗の大きな基材への直接銅電析と析出皮膜の物性