尾山 祐斗 | 甲南大学 大学院自然科学研究科
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概要
関連著者
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尾山 祐斗
甲南大学 大学院自然科学研究科
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縄舟 秀美
甲南大学理学部化学科
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甲南大
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尾山 祐斗
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著作論文
- ベンゾトリアゾール誘導体のマイクロコンタクトプリンティングを利用するULSI銅微細配線の形成
- ポリエチレングリコール誘導体の予備吸着を利用する銅電析プロセスによるULSI微細配線の形成
- マイクロコンタクトプリンティング法を利用した銅ダマシンプロセス
- 金属イオンレドックス系無電解銅めっき浴の安定性
- マイクロコンタクトプリンティング法を利用する銅ダマシンプロセス (MEMS 2006 第16回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集)
- ULSI銅微細配線の形成を目的とした添加剤の予備吸着を利用する銅電析プロセス