中野 禅 | 機械技研

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• 山中 一司

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  機械技術研究所

• 佐藤 治道

  産業技術総合研究所

• 長 秀雄

  青山学院大

• 竹本 幹男

  青山学院大学 理工学部 機械創造工学科

• 高木 秀樹

  産総研

• 矢部 彰

  機械技研

• 小木曽 久人

  産業技術総合研究所

• 長 秀雄

  青山学院大学 理工学部 機械創造工学科

• 小木曽 久人

  (独)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門集積加工研究グループ

• 前田 龍太郎

  機械技研

• 前田 龍太郎

  Mechanical Engineering Laboratory Aist

• 小木 曽久人

  JRCAT-融合研機械技研

• 西野 秀郎

  凸版印刷総合研究所

• 塚原 祐輔

  凸版印刷総合研究所

• 佐藤 倬暢

  フジクラ

• 佐藤 治道

  機械技術研究所

• 塚原 祐輔

  凸版印刷(株)総合研究所

• 佐藤 治道

  機械技研

• 小木曽 久人

  融合研

• 竹本 幹男

  青山学院大

• 佐藤 倬暢

  フジクラ 電子デバイス研

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著作論文

• イオン注入層を用いたマイクロマシン構造の作成 : 金、チタンイオン注入によるマイクロカンチレバーの作成
• PG2 低応力窒化ケイ素薄膜によるカンチレバーの共振法を用いた弾性特性評価(ポスターセッション1)
• レーザ干渉縞の位相速度走査により励起した弾性表面波を用いた多孔質シリコンの物性評価
• カンチレバーを高次モードで駆動する超音波AFM
• ミリマシンの材料と物性計測(実働の微小機械(ミリマシン))
• マイクロマシン用アクチュエ-タ材料
• PG5 レーザー干渉縞の位相速度走査法による弾性表面波を用いた標準欠陥の評価(ポスターセッション1)
• イオンビ-ムを用いたマイクロマシン加工 (マイクロマシンとマイクロトライボロジ-) -- (マイクロマシン--製作技術)

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