鎌田 功穂 | 電力中研
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概要
関連著者
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土田 秀一
財団法人電力中央研究所 材料科学研究所
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鎌田 功穂
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直本 保
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泉 邦和
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辻 崇
富士電機総研
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藤澤 広幸
富士電機総研
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荻野 慎次
富士電機総研
著作論文
- 新しい結晶成長技術化学気相たい積法によるSiCエピタキシャル成長における大型らせん転位の分解
- 高速成長4H-SiCエピタキシャル単結晶膜を用いた高電圧ショットキーダイオードの開発
- 縦型輻射加熱式VPE装置による厚膜・低キャリヤ濃度4H-SiCエピタキシャル成長