山崎 聡 | 産業技術総合研究所 ダイヤモンド研究センター
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概要
関連著者
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山崎 聡
産業技術総合研究所 ダイヤモンド研究センター
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山崎 聡
産総研ナノテク部門
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猪熊 孝夫
金沢大学大学院自然科学研究科
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徳田 規夫
筑波大学 電子・物理工学専攻
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山崎 聡
筑波大学 電子・物理工学専攻
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山崎 聡
産業技術総合研究所ダイヤモンド研究センター
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二子 渉
産業技術総合研究所ダイヤモンド研究センター
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水落 憲和
産業技術総合研究所ダイヤモンド研究センター
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水落 憲和
筑波大図書館情報メディア:jstさきがけ:産総研ナノテク部門
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山崎 聡
産業技術総合研究所エネルギー技術研究部門:独立行政法人科学技術振興機構,CREST
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牧野 俊晴
産業技術総合研究所エネルギー技術研究部門:独立行政法人科学技術振興機構,CREST
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徳田 規夫
金沢大学大学院自然科学研究科電子情報科学専攻
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徳田 規夫
金沢大学大学院自然科学研究科電子情報科学専攻:産業技術総合研究所エネルギー技術研究部門:独立行政法人科学技術振興機構,CREST
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牧野 俊晴
(独)産業技術総合研究所 エネルギー技術研究部門
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牧野 俊晴
産業技術総合研究所エネルギー技術研究部門
著作論文
- ゲート絶縁膜・シリコン界面欠陥、膜中欠陥のESR観察(極薄ゲート絶縁膜・シリコン界面の評価技術・解析技術)
- 電子スピン共鳴法による半導体デバイス作製プロセスの表面反応解析
- 電子スピン共鳴法による表面ダングリングボンドの生成消滅のその場観察
- プラズマCVD法によるステップフリーダイヤモンド(111)表面の形成(ダイヤモンド成長)