山崎 聡 | 産業技術総合研究所ダイヤモンド研究センター

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概要

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関連著者

• 山崎 聡

  産総研ナノテク部門

• 山崎 聡

  産業技術総合研究所ダイヤモンド研究センター

• 二子 渉

  産業技術総合研究所ダイヤモンド研究センター

• 水落 憲和

  産業技術総合研究所ダイヤモンド研究センター

• 山崎 聡

  産業技術総合研究所 ダイヤモンド研究センター

• 水落 憲和

  筑波大図書館情報メディア:jstさきがけ:産総研ナノテク部門

著作論文

• ゲート絶縁膜・シリコン界面欠陥、膜中欠陥のESR観察(極薄ゲート絶縁膜・シリコン界面の評価技術・解析技術)

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