原 信也 | (株)ニコン中央研究所

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著作論文

• 集積型マイクロ干渉計と走査型電子顕微鏡を用いた微小線幅の精密測定
• スキャニングサーマルイメージャー(STI) 第5報 : 広域スキャナを用いたSTI/AFMシステムの評価
• スキャニングサーマルイメージャー(STI) 第4報 : STI/AFMシステムの開発

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