スキャニングサーマルイメージャー(STI) 第5報 : 広域スキャナを用いたSTI/AFMシステムの評価
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1997-10-01
著者
関連論文
- 集積型マイクロ干渉計と走査型電子顕微鏡を用いた微小線幅の精密測定
- スキャニングサーマルイメージャー(STI) 第5報 : 広域スキャナを用いたSTI/AFMシステムの評価
- スキャニングサーマルイメージャー(STI) 第4報 : STI/AFMシステムの開発
- スキャニングサーマルイメージャー (STI) 第2報 : AFM探針への熱電対の集積化
- 薄型プローブスキャンAFMの開発
- スキャニングサーマルイメージャー(STI) 第3報 : AFMスキャナーの開発
- フレキシブルマイクログリッパの開発(1994年度(第14回)精密工学会技術賞)
- スキャニングサーマルイメージャー(STI) 第1報 : 熱計測型SPMの提案とプローブの開発
- フレキシブルマイクログリッパー(FMG) 第4報 : 熱計測機能の集積化とプロセスの改良
- フレキシブルマイクログリッパー(FMG) 第7報 : 抵抗温度係数を考慮した駆動特性式の解析
- マイクロマニピュレーション用マイクロマシン : 「マイクログリッパ」「マイクロナイフ」の開発