フレキシブルマイクログリッパー(FMG) 第4報 : 熱計測機能の集積化とプロセスの改良
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1995-09-01
著者
関連論文
- スキャニングサーマルイメージャー(STI) 第5報 : 広域スキャナを用いたSTI/AFMシステムの評価
- スキャニングサーマルイメージャー(STI) 第4報 : STI/AFMシステムの開発
- スキャニングサーマルイメージャー (STI) 第2報 : AFM探針への熱電対の集積化
- フレキシブルマイクログリッパー (FMG) 第6報 : 機械特性計測システムの開発
- フレキシブルマイクログリッパー (FMG) 第5報 : 昇華性物質を用いた新乾燥法の提案
- フレキシブルマイクログリッパの開発(1994年度(第14回)精密工学会技術賞)
- スキャニングサーマルイメージャー(STI) 第1報 : 熱計測型SPMの提案とプローブの開発
- フレキシブルマイクログリッパー(FMG) 第4報 : 熱計測機能の集積化とプロセスの改良
- フレキシブルマイクログリッパー(FMG) 第7報 : 抵抗温度係数を考慮した駆動特性式の解析
- マイクロマニピュレーション用マイクロマシン : 「マイクログリッパ」「マイクロナイフ」の開発