初澤 毅 | 計量研究所

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概要

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関連著者

• 初澤 毅

  計量研究所

• 谷村 吉久

  計量研究所

• 豊田 幸司

  計量研究所

• 土井 琢磨

  計量研

• 近藤 一彦

  (株)ニコン

• 近藤 一彦

  (株)ニコン中央研究所

• 奈良 誠

  (株)ニコン中央研究所

• 豊永 修司

  (株)ニコン中央研究所

• 原 信也

  (株)ニコン中央研究所

• 岩崎 裕隆

  (株)ニコン中央研究所

• 土井 琢磨

  計量研究所

• 谷村 吉久

  産業技術総合研究所

• 原 信也

  (株)ニコン

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著作論文

• 集積型マイクロ干渉計と走査型電子顕微鏡を用いた微小線幅の精密測定
• LSI用マスクパターンの線幅測定 : 国内での持回り測定結果について
• 円筒領域モデルによる2次電子エッジ信号の推定
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• サブμm領域における線幅標準とその測定
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• Critical Dimension Measurement by Electron and Optical Beams for the Establishment of Linewidth Standards
• マイクロパタ-ン絶対測長装置の開発
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