LEE Hyun | 大阪大学大学院基礎工学研究科システム創成専攻電子光科学領域
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概要
関連著者
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金島 岳
大阪大学大学院基礎工学研究科
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奥山 雅則
大阪大学大学院基礎工学研究科
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金島 岳
大阪大学
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今庄 秀人
大阪大学大学院基礎工学研究科システム創成専攻電子光科学領域
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LEE Hyun
大阪大学大学院基礎工学研究科システム創成専攻電子光科学領域
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吉岡 祐一
大阪大学大学院基礎工学研究科システム創成専攻電子光科学領域
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奥山 雅則
阪大基礎工
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金島 岳
大阪大学大学院基礎工学研究科物理系専攻
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奥山 雅則
大阪大学 基礎工学研究科
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奥山 雅則
阪大 基礎工
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LEE Dong-Hun
大阪大学大学院基礎工学研究科システム創成専攻電子光科学領域
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LEE Hyun
阪大
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吉岡 祐一
阪大
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金島 岳
阪大
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奥山 雅則
大阪大学大学院 基礎工学研究科 ナノサイエンスデザイン教育研究センター
著作論文
- HfO_2/Ge MIS構造のF_2処理と窒素ラジカル処理による電気的特性の向上(レギュラーセッション,ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
- F_2表面処理したHfO_2/Ge MIS構造の電気的特性評価(シリコン関連材料の作製と評価)