吉村 俊之 | 日立 中研

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概要

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• 日立 中研の論文著者

関連著者

• 吉村 俊之

  日立 中研

• 白石 洋

  株式会社日立製作所中央研究所

• 吉村 俊之

  (株)日立製作所中央研究所ulsi研究部

• 白石 洋

  (株)日立製作所中央研究所

• 白石 洋

  (株)日立製作所

• 吉村 俊之

  (株)日立製作所中央研究所

• 武田 英次

  (株)日立製作所中央研究所

• 武田 英次

  日立製作所中央研究所ulsi研究センタ

• 吉村 俊之

  日立製作所中央研究所

• 小川 太郎

  (株)日立製作所 中央研究所

• 宿利 章二

  (株)日立製作所半導体事業部

• E.W シェクラー

  日立製作所中央研究所

• E.w シェクラー

  モノリステクノロジーズ

• 宿利 章二

  日立製作所中央研究所

• 小川 太郎

  日立製作所中央研究所

• 松岡 秀行

  日立中研

• 市口 恒雄

  日立基礎研

• 松岡 秀行

  日立製作所中央研究所

• 市口 恒雄

  日立製作所基礎研究所

• 浅井 尚子

  (株)日立製作所半導体開発センタ

• SCHECKLER Edward

  モノリステクノロジーズ

• 浅井 尚子

  (株)日立製作所 中央研究所

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著作論文

• Si-MOSFETにおける単一電子チャージング効果
• 高分子レジストを用いた極微細加工とその評価
• ナノメ-タリソグラフィにおけるレジストの高分子マトリックス効果
• ナノメーターリソグラフィーにおけるレジスト高分子のサイズ効果
• ナノメターリングラーフィにおけるレジストパターンゆらぎのシミュレーションによる解析

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