吉村 俊之 | (株)日立製作所中央研究所

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• 白石 洋

  株式会社日立製作所中央研究所

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  (株)日立製作所中央研究所ulsi研究部

• 白石 洋

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  (株)日立製作所

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• 浅井 尚子

  (株)日立製作所半導体開発センタ

• 小川 太郎

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• SCHECKLER Edward

  モノリステクノロジーズ

• 宿利 章二

  (株)日立製作所半導体事業部

• E.W シェクラー

  日立製作所中央研究所

• 浅井 尚子

  (株)日立製作所 中央研究所

• E.w シェクラー

  モノリステクノロジーズ

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著作論文

• 高分子レジストを用いた極微細加工とその評価
• ナノメ-タリソグラフィにおけるレジストの高分子マトリックス効果
• ナノメーターリソグラフィーにおけるレジスト高分子のサイズ効果

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