阿部 克也 | 東京工業大学 工学部

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概要

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• 同名の論文著者
• 東京工業大学 工学部の論文著者

関連著者

• 山田 明

  東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻

• 小長井 誠

  東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻

• 小長井 誠

  東工大

• 阿部 克也

  東京工業大学 工学部

• 小長井 誠

  東京工業大学

• 山田 明

  東京工業大学

• 大島 隆文

  日立・マイクロデバイス

• 大島 隆文

  (株)日立製作所 デバイス開発センタ プロセス開発部

• 綿引 達郎

  東京工業大学 工学部

• 金井 正和

  東京工業大学工学部

• 大島 隆文

  東京工業大学工学部

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著作論文

• 低温形成Siエピタキシャル膜におけるBの不活性化現象とその抑制
• 光CVD法による低温Siエピタキシャル成長における高濃度ドーピング及び接合の形成

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