小椋 厚志 | NECシリコンシステム研究所

スポンサーリンク

概要

• 小椋 厚志の詳細を見る
• 同名の論文著者
• NECシリコンシステム研究所の論文著者

関連著者

• 小椋 厚志

  NECシリコンシステム研究所

• 大下 祥雄

  豊田工業大学

• 町田 英明

  トリケミカル研 先端技術探索室

• 星野 麻子

  トリケミカル研究所

• 鈴木 淑恵

  トリケミカル研究所

著作論文

• HF(NEt_2)_4を原料ガスとして用いたHfO_2薄膜の堆積
• 先端デバイス開発におけるSOI基板への期待(バルク成長分科会特集-最先端デバイスと科学技術-)

スポンサーリンク