星野 麻子 | トリケミカル研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• トリケミカル研究所の論文著者

関連著者

• 大下 祥雄

  豊田工業大学

• 町田 英明

  トリケミカル研 先端技術探索室

• 小椋 厚志

  NECシリコンシステム研究所

• 星野 麻子

  トリケミカル研究所

• 鈴木 淑恵

  トリケミカル研究所

著作論文

• HF(NEt_2)_4を原料ガスとして用いたHfO_2薄膜の堆積

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