吉田 光一 | ロデール・ニッタ

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• 吉田 光一

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• 羽場 真一

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  ロデール・ニッタ株式会社 技術部

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  高知工科大学 電子・光システム工学科

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• 坂井 康行

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• 吉田 光一

  ロデール・ニッタ株式会社 技術二課

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著作論文

• 遠心分離によるフュームドシリカスラリーの粗大粒子除去
• STIスラリーの開発
• 高分散低スクラッチング・スラリーの開発
• Two-Step Copper CMP Solution -Copper CMP slurry "CUS-3000"開発状況-
• 絶縁膜CMP用スラリーの現状と今後の課題

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