竹野 文人 | 広島大学大学院先端物質科学研究科

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概要

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• 宮崎 誠一

  広島大学大学院 先端物質科学研究科

• 大田 晃生

  広島大学大学院先端物質科学研究科

• 村上 秀樹

  広島大学大学院先端物質科学研究科

• 中川 博

  広島大学大学院先端物質科学研究科

• 竹野 文人

  広島大学大学院先端物質科学研究科

• 宮崎 誠一

  広島大学大学院

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• 東 清一郎

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著作論文

• HfO_2/SiN_x/Si(100)スタック構造における界面酸化反応評価(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
• AIO_x:N/Si(100)界面の熱的安定性評価(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
• ZrO_2/Si(100)系の界面遷移層評価(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

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