大崎 明彦 | ルネサステクノロジ
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概要
関連著者
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大崎 明彦
ルネサステクノロジ
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太田 裕之
日立機械研
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熊谷 幸博
日立機械研
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藤沢 雅彦
三菱電気株式会社ulsi開発研究所
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藤澤 雅彦
ルネサステクノロジ
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岩本 猛
ルネサステクノロジ
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大崎 明彦
三菱電気株式会社ULSI開発研究所
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小谷 秀夫
三菱電気株式会社ULSI開発研究所
著作論文
- J0103-1-3 温度サイクル試験におけるチップコーナーのLow-k膜はく離防止のための評価手法の開発(電子情報機器,電子デバイスの強度・信頼性評価と熱制御(1))
- コリメーションスパッタ法によるTiN/Ti密着層の形成