中川 香苗 | 富士通研究所
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概要
関連著者
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中川 香苗
富士通研究所
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水越 正孝
(株)富士通研究所
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谷 元昭
富士通研究所
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中川 香苗
(株)富士通研究所
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水越 正孝
富士通研究所
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谷 元昭
(株)富士通研究所
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加藤 雅之
(株)富士通研究所
著作論文
- 絶縁膜とビアポストの同時研削を用いた多層配線技術
- ビアポストと研削平たん化法を用いたパッケージ用微細多層配線技術(高密度SiP・3次元実装技術,高性能電子機器を支える次世代高密度実装技術と実装材料技術論文)
- カップリング剤を用いた無電解銅めっきによる微細配線技術
- ダイヤモンドバイト切削平たん化法を用いた多層配線形成方法(微細インタコネクション技術, 先端電子デバイス実装技術と解析・評価技術の最新動向論文)