野村 和司 | Euva相模原研究開発センタ

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概要

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• Euva相模原研究開発センタの論文著者

関連著者

• 野村 和司

  Euva相模原研究開発センタ

• 瀧野 日出雄

  (株)ニコン

• 野村 和司

  ニコン

• 野村 和司

  (株)ニコン

• 竹内 芳美

  大阪大 大学院

• 国枝 正典

  東京農工大

• 河合 知彦

  ファナック(株)

• 沢田 潔

  ファナック(株)

• 橋本 義則

  電気通信大学大学院

• 瀧野 日出雄

  ニコン

• 山口 修一

  ニコン

• 一戸 利満

  (株)ニコン

• 谷本 勝範

  (株)ニコン

• 山口 修一

  (株)ニコン

• 沢田 潔

  ファナック

• 河合 知彦

  ファナック(株)ロボナノ事業本部ロボナノ営業部

• 橋本 義則

  電気通信大学大学院:(現)セイコーエプソン(株)

• 竹内 芳美

  大阪大 大学院工学研究科

• 竹内 芳美

  大阪大学大学院工学研究科

• 安藤 学

  キヤノン(株)

• 宮本 岩男

  東京理科大学 基礎工学研究科電子応用工学専攻

• 住田 貴之

  電気通信大学:(現)東日本旅客鉄道(株)

• 谷口 淳

  東京理科大学基礎工学部

• 竹内 芳美

  フェロー,大阪大学大学院工学研究科

• 竹内 芳美

  大阪大学大学院

• 伊藤 彰則

  ニコン

• 谷口 淳

  東京理科大学

• 柴田 規夫

  (株)栃木ニコン

• 沼田 敦史

  キヤノン(株)

• 瀧野 日出雄

  EUVA相模原研究開発センタ

• 安藤 学

  EUVA宇都宮(旧下丸子)研究開発センタ

• 沼田 敦史

  EUVA宇都宮(旧下丸子)研究開発センタ

• 宮本 岩男

  東京理科大学基礎工学部

• 小林 輝紀

  ニコン

• 一戸 利満

  ニコン

• 谷本 勝範

  ニコン

• 久岐 正明

  ニコン

• 小松田 秀基

  ニコン

• 柴田 規夫

  栃木ニコン

• 宮本 岩男

  東京理科大学

• 谷口 淳

  東京理大 基礎工

• 宮本 岩男

  東京理科大学基礎工学研究科電子応用工学専攻

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著作論文

• EUV露光装置用光学素子加工技術の開発
• フライアイミラーの超精密五軸制御加工と光学特性評価(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• EUV露光装置光学系フライアイミラーの超精密5軸制御加工(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• ワイヤ放電加工による単結晶シリコン光学面の高品位切断
• 要素ミラーの配列による複雑形状フライアイミラーの試作
• 鏡面シリコンのワイヤ放電加工特性

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