野村 和司 | (株)ニコン

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概要

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関連著者

• 野村 和司

  Euva相模原研究開発センタ

• 瀧野 日出雄

  (株)ニコン

• 野村 和司

  (株)ニコン

• 野村 和司

  ニコン

• 竹内 芳美

  大阪大 大学院

• 河合 知彦

  ファナック(株)

• 沢田 潔

  ファナック(株)

• 橋本 義則

  電気通信大学大学院

• 沢田 潔

  ファナック

• 河合 知彦

  ファナック(株)ロボナノ事業本部ロボナノ営業部

• 橋本 義則

  電気通信大学大学院:(現)セイコーエプソン(株)

• 竹内 芳美

  大阪大 大学院工学研究科

• 竹内 芳美

  大阪大学大学院工学研究科

• 国枝 正典

  東京農工大

• 住田 貴之

  電気通信大学:(現)東日本旅客鉄道(株)

• 竹内 芳美

  フェロー,大阪大学大学院工学研究科

• 竹内 芳美

  大阪大学大学院

• 山口 修一

  ニコン

• 一戸 利満

  (株)ニコン

• 谷本 勝範

  (株)ニコン

• 山口 修一

  (株)ニコン

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著作論文

• フライアイミラーの超精密五軸制御加工と光学特性評価(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• EUV露光装置光学系フライアイミラーの超精密5軸制御加工(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• 鏡面シリコンのワイヤ放電加工特性

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