吉井 一郎 | 株式会社東芝

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概要

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関連著者

• 吉井 一郎

  株式会社東芝

• 波磨 薫

  東芝マイクロエレクトロニクス株式会社

• 小澤 良夫

  株式会社東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 小澤 良夫

  株式会社東芝

• 上条 浩幸

  株式会社東芝

• 間 博顕

  株式会社東芝

• 星野 直樹

  東芝半導体事業本部

• 原田 一成

  東芝半導体事業本部

• 高木 万里子

  東芝半導体技術研究所

• 吉井 一郎

  東芝半導体技術研究所

• 原田 一成

  東芝半導体品質保証部

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著作論文

• CMOSデバイスにおける酸化膜欠陥のインプロセススクリーニング技術の検討
• ESRを用いた層間膜中水分によるMOSFET特性劣化メカニズム検討
• CMOSデバイスにおける酸化膜欠陥のインプロセススクリーニング技術の検討

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