田中 良和 | 名古屋工業大学機能工学専攻

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概要

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• 名古屋工業大学機能工学専攻の論文著者

名古屋工業大学機能工学専攻 | 論文

• マイクロ波光導電減衰法によるp型4H-SiCエピタキシャル膜の評価(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
• SIMOXとUNIBOND構造に対するボロンの極浅拡散
• 最新鋭の半導体工場
• SOIとバルクにおけるPとBの拡散プロファイルの比較検討(半導体Si及び関連電子材料評価)
• 格子不整の大きなGaAs上In_xGa_1-x>As(0.2x≦1)の液相成長

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