山本 正樹 | 東北大学多元物質科学研究所先端計測開発センター軟 X 線顕微計測研究部
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概要
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東北大学多元物質科学研究所先端計測開発センター軟x線顕微計測研究部
著作論文
- 反射波面補正のためにイオンミリングした軟 X 線多層膜鏡の評価
- 軟X線多層膜鏡の形状誤差補正のための大面積イオン銃を用いたミリング装置の開発
- 超高精細バイオイメージング用波面補正軟X線多層膜ミラーの開発
- 正反射による物体表面の傾斜エリプソメトリー : 精密実時間形状計測への基本概念
- 軟X線多層膜光学
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