塩川 善郎 | 日電アネルバ(株)

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概要

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• 日電アネルバ(株)の論文著者

日電アネルバ(株) | 論文

• マルチターゲットスパッタ法による Pb(Zr,Ti)O_3 強誘電体薄膜の作製とその評価
• 多元同時スパッタリング法によるY_1Ba_2Cu_3O_y薄膜の作製
• 低圧および低温のMO-CVD法によるTiN薄膜の作製
• 真空計の種類とその応用 (真空計測)
• 5. 半導体製造装置及び液晶パネル製造装置における排気系( プラズマ装置からの真空工学・排気技術IV)

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