5. 半導体製造装置及び液晶パネル製造装置における排気系(<講座> プラズマ装置からの真空工学・排気技術IV)

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概要

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• In recent years, semiconductor industry has made remarkable progress. For the vacuum equipments used for semiconductor industry, several innovations in the field of the pumping systems have been made. The examples are developments of a hybrid-TMP with having wide range of operation pressure and a dry-vacuum pump. An automatic pressure control system was also developed as a semiconductor equipments. The vacuum pumping systems for the sputtering system, the dry etching system and the PVCD system are reviewed.

• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 1995-10-25

著者

• 林 義孝

  日電アネルバ

• 林 義孝

  日電アネルバ(株)

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