林 義孝 | 日電アネルバ

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概要

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関連著者

• 林 義孝

  日電アネルバ

• 林 義孝

  日電アネルバ(株)

• 菊地 俊雄

  日電アネルバ株式会社

• 大迫 信治

  日電アネルバ(株)

• 大迫 信治

  アネルバ株式会社

• 林 義孝

  日電アネルバ (株)

• 菊地 俊雄

  日電アネルバ (株)

• 大迫 信治

  日電アネルバ (株)

著作論文

• 真空技術における物理現象 : 真空における物理・化学
• 5. 半導体製造装置及び液晶パネル製造装置における排気系( プラズマ装置からの真空工学・排気技術IV)
• G-M冷凍機を用いたクライオポンプによるXHV実現の可能性

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