井上 真雄 | 論文著者

(株)ルネサステクノロジ

(株)ルネサステクノロジ生産技術本部ウエハプロセス技術統括部プロセス開発部

三菱電機(株)ULSI技術開発センター

三菱電機ULSI技術開発センター

大阪大学基礎工学部電気工学科

大阪大学大学院工学研究科電気工学

大阪大学工学部電気工学科